一种超净高纯硫酸的生产方法

超净高纯硫酸的生产方法，所述方法包括如下步骤：（1）除杂：将工业级硫酸注入处理槽，机械搅拌下加入除杂剂，静置后过滤；（2）精馏：将步骤（1）中的滤液经负压引入连续精馏装置中，待液位略高于加热炉丝时，通电加热连续精馏；每次进料 1.8L~2.0L；（3）分馏：收集步骤（2）中的中间馏分，馏分温度范围为 332℃~342℃；（4）超净过滤：将步骤（3）收集的馏分经负压引入超净过滤装置进行超净过滤；（5）超净分装：步骤（4）中产品质量检测达到要求后，超净分装。本发明能够实现氧化去除硫酸中的杂质；同时采用四道滤膜，产品质量指标超过SEMI‑C12标准。

1.一种超净高纯硫酸的生产方法，其特征在于所述方法步骤如下：（1）除杂：将工业级硫酸注入处理槽，机械搅拌下加入除杂剂，静置后过滤；所述除杂剂为KMnO4和K2S2O8的混合物，重量比为3:1；（2）精馏：将步骤（1）中的滤液经负压引入连续精馏装置中，待液位略高于加热炉丝时，通电加热连续精馏；每次进料 1.8L，连续精馏装置的材质为内衬防腐材料的不锈钢；（3）分馏：收集步骤（2）中的中间馏分，馏分温度范围为 332℃~342℃，小于332℃或高于342℃的馏分经管道重新流入连续精馏装置中，再次精馏，同时调节进酸阀添加原料，保持连续精馏装置中的液面±5cm，保持连续生产；（4）超净过滤：将步骤（3）收集的馏分经负压引入超净过滤装置进行超净过滤，超净过滤是在干燥氮气保护下，且在空气中颗粒度大于0.5μm的颗粒不超过100个的百级净化环境下进行，超净过滤装置设置有若干可拆卸的微滤膜及纳滤膜，微滤膜设置为：一组微滤膜孔径为0.5μm；二组微滤膜孔径为0.1μm；纳滤膜设置为：一组纳滤膜孔径为0.5nm，二组纳滤膜孔径为0.2nm；一组微滤膜采用的是聚偏氟乙烯型；二组微滤膜采用的是聚四氟乙烯型；一组和二组纳滤膜采用的都是聚四氟乙烯型；（5）超净分装：在氮气保护下，使用1mL注射器吸取步骤（4）中少量液体进行检测，当产品质量检测达到要求后，超净分装；超净分装是在干燥氮气保护下，且在空气中颗粒度大于0.5μm的颗粒不超过100个的百级净化环境下进行。